酸性微蝕劑
- 酸性微蝕劑是不含有氟離子、螯合劑、耗熱少且可使用於噴灑或浸泡方式之單一製程使用藥液。
- 酸性微蝕劑可將基板之鉻抗氧化層去除並得到一均勻之微蝕銅表面
應用的範圍包括內層、外層、防焊、噴錫HAL或黑/棕化製程之前處理
- 可得均勻之微蝕銅表面
- 噴洒式和浸泡式皆可使用
- 外觀：淡黃色到無色液體
- 比重(25℃)：1.290 ~ 1.330
- pH：<1.0
- 水中溶解度：完全溶解
| 槽體 | PP、PVC或polycarbonate抗酸性材質 |
| 抽風設備 | 建議為需要 |
| 溫度控制系統 | Teflon、石英、鈦金屬或316不銹鋼材質 |
1.乾膜前處理
| 噴灑方式 | 浸泡方式 | |
| 配槽濃度 | 50~60﹪v/v | 60~70﹪v/v |
| 操作溫度 | 27~32℃ | 27~32℃ |
| 反應接觸時間 | 30~45秒 | 45~60秒 |
| 微蝕速率 | 40~80μin/min | 30~60μin/min |
| 換槽時機 | 銅離子＞26 g/l | 銅離子＞30 g/l |
2.直接金屬化製程前處理
| 噴灑方式 | 浸泡方式 | |
| 配槽濃度 | 10~20﹪v/v | 10~20﹪v/v |
| 操作溫度 | 21~27℃ | 21~27℃ |
| 反應接觸時間 | 10~15秒 | 30~90秒 |
| 微蝕速率 | 15~25μin/min | 15~25μin/min |
| 換槽時機 | 銅離子＞15 g/l | 銅離子＞15 g/l |
3. 棕化製程前處理
| 噴灑方式 | 浸泡方式 | |
| 配槽濃度 | 5~15﹪v/v | 10~20﹪v/v |
| 操作溫度 | 27~32℃ | 27~32℃ |
| 反應接觸時間 | 10~60秒 | 20~90秒 |
| 微蝕速率 | 5~25μin/min | 5~25μin/min |
| 換槽時機 | 銅離子＞15 g/l | 銅離子＞15 g/l |
4. 黑棕化，HAL，電鍍製程前處理
| 噴灑方式 | 浸泡方式 | |
| 配槽濃度 | 20~30﹪v/v | 30~40﹪v/v |
| 操作溫度 | 27~32℃ | 27~32℃ |
| 反應接觸時間 | 30~60秒 | 90~120秒 |
| 微蝕速率 | 25~35μin/min | 20~30μin/min |
| 換槽時機 | 銅離子＞15 g/l | 銅離子＞18 g/l |
六、從電子顯微鏡下觀察不同反應時間對應微蝕速率
反應時間：40 sec ; 微蝕率：0.45μm
反應時間：80 sec ; 微蝕率：0.9μm
反應時間：40 sec ; 微蝕率：1.35μm
反應時間：80 sec ; 微蝕率：1.8μm