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穩定的碳酸鹽顯影劑,可應用於全(半)水溶性乾膜光阻及液態感光油墨(LPI)之顯影製程。

操作時可選擇手動操作添加或自動添加操作。當配合自動添加控制器時,將會得到一個穩定的顯影品質,並且比傳統的碳酸鉀效率高約10~15%的處理量。


1. 提供良好的D/F Side Wall
2. 提高產能
3. 穩定的糙作速度
4. 有較穩定的操作量(Resister Loading Factor)
5. 可延長槽液壽命約2~5週
6. 可減少批次當槽的次數,降低人工操成本
7. 其它優點:降低廢水處理量(低COD含量)、節省能源浪費